每经AI快讯精密机械,有投资者在投资者互动平台提问:公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料(如动态导热补偿膜)?与海外竞品(如德国汉高)的技术差距体现在哪些参数(如导热速率波动率)?中石科技
金融界3月11日消息精密机械,有投资者在互动平台向中石科技提问:光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感,公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料(如动态导热补偿膜)?与海外竞品(如德国汉高